【光刻】Extreme UV lithography(1)(1).pptx
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hamamatsu_optosemiconductor_handbook 滨松光电半导体技术手册 （共15章，全英文）
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参考书籍
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萧宏. 半导体制造技术导论. 电子工业出版社，2012
施敏. 半导体器件物理与工艺. 苏州大学出版社, 2002
Peter Van Zant. 芯片制造——半导体工艺制程实用教程. 电子工业出版社
Michael Quirk, Julian Serda. 半导体制造技术. 电子工业出版社. 2009
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北京音视潮半导体技术有限公司(Improv Systems)在北京开设技术支持中心,满足对可重构DSP解决方案的需求.pdf
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