应用光学理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统，建立了衍射叠栅信号与对应位移的数学模型，并通过计算机仿真对叠栅信号的位移特性进行了研究。为提高位移检测信号的灵敏度及定位精度，提出了差动式和修正式两种定位方法，差动式定位由于能消除同相噪声干扰及激光管本身光强的波动，因此定位精度高于修正式定位，但修正式定位结构比较简单。利用研究的两种定位方法，建立了精密定位的复合控制系统，通过粗定位和精定位相结合的两段式复合定位，可保证在较大的信号捕捉范围内，实现高速高精度定位，有效地解决了定位精度、定位速度与信号捕捉范围三者之间的矛盾。实验结果表明，复合式精密定位可在1 mm的信号捕捉范围获得±10 nm的定位精度。

(美国）联邦航空局宣布，他们接受了通用电话电气西耳伐尼亚公司的一套精密自动跟踪系统(PATS)。这种实时系统自恃在20海里时的跟踪精度为±1英尺，这在射频世界几乎是不可能的。在这一距离上的方位角和仰角的精度为0.005°。

干涉测量技术以光的波长为度量单位，具有高精度、高灵敏度、和非接触的特点。特别是20世纪70年代以来，干涉测量技术与现代激光技术、电子技术和计算机技术相结合，极大地提高了测量精度和重复性。干涉测量已成为实现光学元件面形及微形貌，光学系统波像差，光学材料折射率、应力双折射等参数高精密检测的主要手段。超精密干涉测量仪器与系统已成为Zygo、Zeiss、Nikon、4D Technology、QED等企业的核心业务之一。

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精密整流仿真电路。软件使用的是Multisim14.0。可以使用软件自带的分析工具对笔者的文章分析过程一步一步的检查。小信号交流电压和输入信号正半周相同，效果很好。如有问题请联系笔者。

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