smith园图——excell版
Freq (MHz) S11x S11y
900.000 0.00000 0.00000
910.000 -0.33333 0.00000
920.000 -0.20000 0.40000
930.000 0.20000 0.40000
940.000 0.33333 0.00000
950.000 0.20000 -0.40000
960.000 -0.20000 -0.40000
970.000 -0.66667 0.00000
980.000 -0.42012 0.59172
990.000 0.00000 1.00000
1000.000 0.82353 0.29412
1010.000 0.81818 0.00000
1020.000 0.82353 -0.29412
1030.000 0.00000 -1.00000
1040.000 -0.42012 -0.59172
1050.000 -1.00000 0.00000
1060.000
1070.000
1080.000
1090.000
1100.000
1110.000
1120.000
1130.000
2022-09-09 14:04:10
65KB
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晶圆图模式分类
1.数据说明
WM-811K数据集
在实际制造中从46393个批次中收集了811457个晶圆图
172950个晶圆被领域专家标记。
9种缺陷模式类别（中心，甜甜圈，边缘环，边缘局部，局部，随机，近满，划痕）
删除了四个裸片少于100个的异常晶圆图（无图案类）
2.手动特征提取方法
1]特征提取
1）密度特征
晶圆图分为13个区域（4个边缘区域，9个中心区域）
每个区域的缺陷密度用作密度特征
13个提取的特征
2）几何特征
通过噪声过滤提取显着区域
基于最大面积的显着区域，提取六个几何特征周长，面积，短轴长度，长轴长度，坚固性和偏心率
6个提取的特征
3）features功能
通过radon变换创建根据一系列投影创建晶圆图的二维表示
应用三次插值以获得相同数量的行。
根据radon转换的结果和提取的行平均值得出20行 行标准差 每行
40个提取的特征
总共59个
2022-05-11 00:39:12
203KB
1
单支节的圆图匹配过程
1)使用了阻抗圆图和导纳圆图
2)一般有两组解，选择d1和l1较短的一组解
3)只对一个频率进行匹配，频率变化易导致失配
4)频率特性不如单节/4阻抗变换器
5)d1位置的调节有时难以实现
短路点
2022-04-30 23:23:22
2.62MB
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